Unkonventionelle Lithographie (G 02)

• Fachliche Zuordnung: Physikalische Chemie von Molekülen, Flüssigkeiten und Grenzflächen, Biophysikalische Chemie
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2011
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5484409

Inhalt des TP G2 ist es, die Selbstorganisation beladener Kolloide und Mizellen zu nutzen, um zunächst geordnete Muster der kolloidalen oder mizellaren Träger zu erhalten, die sich dann durch Plasmaprozesse in entsprechend geordneten Nanoteilchen (NT) umwandeln lassen. Dabei können Größe und Abstand der resultierenden NT über einen weiten Bereich der Nanoskala kontrolliert variiert werden. Nutzt man die NT als Maske bei nachfolgenden Ätzprozessen, so lassen sich die ursprünglichen Muster in das jeweilige Substrat übertragen und man erhält z.B. Anordnungen von Nano-Säulen oder -Poren, die zu neuen Funktionen führen können.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 569: Hierarchische Strukturbildung und Funktion Organisch-Anorganischer Nanosysteme
• Großgeräte: RTP-Ofen
• Gerätegruppe: 8490 Sonstige Oefen und Wärmegeräte (außer 840-848)
• Antragstellende Institution: Universität Ulm
• Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter: Professorin Dr. Katharina Landfester, bis 8/2008; Dr. Alfred Plettl; Professor Dr. Paul Ziemann; Professor Dr. Ulrich Ziener, seit 9/2008