Formbohren und Formfräsen mit Diamantwerkzeugen zur Herstellung von Mikrolinsen-Arrays

Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung spanender Verfahren, mit denen komplexe Formwerkzeuge für mikrooptische Bauelemente, wie z.B. Mikrolinsen-Arrays, in hoher Genauigkeit gefertigt werden können. Die nach dem Stand der Forschung eingeschränkten Möglichkeiten zur Herstellung komplexer optischer Konturen auf metallischen Substraten sollen dabei erforscht und erweitert werden. Insbesondere sollen durch die zu entwickelnde Technologie auch zylindrische und asphärische Linsen-Arrays herstellbar sein. In der ersten Projektphase erfolgt die Prozeßentwicklung für das Formbohren und -fräsen mit monokristallinen Diamantformwerkzeugen. Als Werkzeuggeometrien werden zunächst kreisförmige Schneidenkonturen eingesetzt. Parallel dazu erfolgt eine Verfahrensentwicklung zum Polieren von monokristallinen Diamantwerkzeugen mit nicht-kreisförmigen Schneidenkonturen mit entsprechendem Einsatz der Werkzeuge in spanenden Prozessen. Gegen Ende des Vorhabens sollen Abformwerkzeuge für Mikrolinsen-Arrays als Demonstrationsobjekte hergestellt werden.

DFG-Verfahren Schwerpunktprogramme

Teilprojekt zu SPP 1012:  Mikromechanische Produktionstechnik