Entwicklung neuer unkonventioneller paralleler Methoden zur Modifikation und Herstellung von Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich

• Antragsteller: Professor Dr. Heiko Jacobs
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5295814

In meinem Forschungsvorhaben sollen neue unkonventionelle parallele Methoden zur Modifikation und Herstellung von Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich entwickelt werden. Die Art der Arbeit ist gebietsübergreifend (Angewandte Physik, Elektrotechnik). Beispiel Electric Microcontact Printing: Hier wird ein elektrisch leitender flexibler Stempel verwendet um Oberflächenladungen zu generieren (Teilprojekt 1), Elektronen sensitive Lacke zu belichten (Teilprojekt 2) und lokal Oxide zu wachsen (Teilprojekt 3). Die Methode findet Anwendung bei der Herstellung von Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich und bei der Erstellung von Replikas für eine neuartige ladungsbasierende Datenspeicherung. Der Ansatz ist dabei um Größenordnungen schneller und günstiger als Methoden, welche auf Rastersonden basieren.Publikation: H.O. Jacobs, G.M. Whitesides, SCIENCE 291, 1763 (2001)

• DFG-Verfahren: Emmy Noether-Auslandsstipendien