Diagnostik von kompakten Funktions- und Konstruktionswerkstoffen mittels multifunktionaler Mikrobeugung

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Jürgen Bauch
• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2005
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5301261

Im Rahmen dieses Antrages soll das bisher ungelöste Problem der "verdrehten Netzebenen" an Be geklärt werden. Hierzu werden erstmalig tiefenaufgelöste Defektuntersuchungen (Pseudo-KOSSEL-Technik) mit hochortsaufgelöster Orientierungsbestimmung (EBSP) bei gleichzeitiger Messung der Eigenspannung und der Versetzungsdichte (wechselseitiger Einsatz beider komplementärer Methoden in einem REM) kombiniert. Diese Verzahnung ist ein wesentliches methodisches Ziel des Projektes und ist analytisch überfällig. Mißorientierungen von wenigen zehntel Grad beeinflussen entscheidend die Migrations- und Diffusionsprozesse. Die Nutzung der EBSP-Technik allein reicht deshalb hierbei aus Genauigkeitsgründen nicht mehr aus. Mit Hilfe der im beantragten System integrierbaren Pseudo-KOSSEL-Technik läßt sich der großflächige Nachweis richtungsabhängiger Änderungen der Defektstruktur bei gleichzeitiger Quantifizierung des Meßsignals an Wafern der Mikroelektronik (z.B. getrennte Bestimmung der Realstruktur von Substrat und Epitaxieschicht an GaAs) realisieren. Ein weiteres Untersuchungsproblem, wo konventionelle Diffraktometerverfahren infolge des hohen Eigenspannungsgradienten bisher versagten, ist die Analyse der Eigenspannungsverteilung und/oder die Ermittlung des spannungsfreien Zustandes (neu) von beidseitig beschichteten FeSi3-Trafoblechen im Querschliff in der Umgebung von Schnittkanten bzw. Gradientenwerkstoffen.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Person: Professor Dr. Hans-Jürgen Ullrich