Untersuchung der CVD-Reaktionen bei der Bildung von a-Al2O3 als Diffusionsbarriere auf Superlegierungen

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Dieter Neuschütz
• Subject Area: Synthesis and Properties of Functional Materials
• Term: from 2001 to 2004
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5313322

a-Al2O3 ist auf Grund seiner chemischen Stabilität und seiner geringen Anzahl an Fehlstellen im Kristallgitter besonders für die Verwendung als Diffusionsbarriere für Turbinenschaufeln geeignet. Allerdings ist eine direkte Abscheidung von a-Al2O3 auf Ni-, Co- oder Cr-haltigen Substraten nicht möglich; durch die Zusammenarbeit von Natur- und Ingenieurwissenschaften soll ein Konzept zur Vermeidung dieser Whiskerbildung entwickelt und erprobt werden. Dazu sollen die im CVD-Prozeß maßgeblichen Spezies bestimmt und die ablaufenden Reaktionsmechanismen entschlüsselt werden. Die Kenntnis der Reaktionskinetik in Verbindung mit der Strömungsmechanik soll anschließend zur Simulation des Abscheideprozesses und damit zur Übertragung der Ergebnisse auf technische Reaktoren und Substrate komplexer Geometrie genutzt werden.

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1119: Inorganic Materials through Vapor-Phase Synthesis: Interdisciplinary Concepts for Development, Understanding and Controlling of CVD Processes
• Participating Person: Professor Dr. Burak Atakan