CVS von nanokristallinen Metalloxid-Schichten mittels Pyrolyse von molekularen Metallsiloxiden

Antragsteller Professor Dr. Matthias Drieß; Professor Dr.-Ing. Frank Einar Kruis
Fachliche Zuordnung Chemische und Thermische Verfahrenstechnik
Förderung Förderung von 2001 bis 2010
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5313354
 

Projektbeschreibung