MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse.

• Applicants: Professor Dr.-Ing. Gunther Brenner; Professor Dr. Rochus Schmid
• Subject Area: Technical Chemistry
• Term: from 2001 to 2008
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5313702

No abstract available

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1119: Inorganic Materials through Vapor-Phase Synthesis: Interdisciplinary Concepts for Development, Understanding and Controlling of CVD Processes