Charakterisierung der Feingestalt von Freiformflächen und strukturierten Oberflächen (M01)

• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2012
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5484947

Im Teilprojekt werden streulichtbasierte Oberflächen-Messverfahren für den In-Prozess-Einsatz optimiert. Im Mittelpunkt der Untersuchungen stehen das Rauheitsmessverfahren der zweifachen Lichtstreuung und das Verfahren der winkelaufgelösten Streulichtanalyse. Auf der Basis numerischer Messprozess-Simulationen und experimenteller Verifikationen entstehen kompakte, robuste In-Prozess- Messsysteme, welche mechanisch und prozesstechnisch in ultrapräzise Bearbeitungsmaschinen (z.B. Fräsen, Mikroschneiden) integriert werden.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 4: Prozessketten zur Replikation komplexer Optikkomponenten
• Antragstellende Institution: Universität Bremen
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Gert Goch