Microtopography characterization of freeform and structured surfaces (M01)

• Subject Area: Measurement Systems
• Term: from 2001 to 2012
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5484947

Im Teilprojekt werden streulichtbasierte Oberflächen-Messverfahren für den In-Prozess-Einsatz optimiert. Im Mittelpunkt der Untersuchungen stehen das Rauheitsmessverfahren der zweifachen Lichtstreuung und das Verfahren der winkelaufgelösten Streulichtanalyse. Auf der Basis numerischer Messprozess-Simulationen und experimenteller Verifikationen entstehen kompakte, robuste In-Prozess- Messsysteme, welche mechanisch und prozesstechnisch in ultrapräzise Bearbeitungsmaschinen (z.B. Fräsen, Mikroschneiden) integriert werden.

• DFG Programme: CRC/Transregios
• Subproject of: TRR 4: Process Chains for the Replication of Complex Optical Elements
• Applicant Institution: Universität Bremen
• Project Head: Professor Dr.-Ing. Gert Goch