Universal-Cluster-Sputteranlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2007
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 53571728

Die beantragte Universal Cluster-Sputteranlage soll sowohl im Bereich der angewandten als auch der grundlagenorientierten Forschung durch das Anwenderzentrum Material- und Umweltforschung eingesetzt werden. Die wesentlichen Nutzer sind drei Experimentalphysiklehrstühle. Die Konzeption der beantragten Anlage mit getrennten Beschichtungskammern schließt eine Kreuzkontamination von verschiedenen Materialien aus, so dass unterschiedliche Projekte zwar nicht unmittelbar zeitgleich, aber durchaus parallel bearbeitet werden können. Durch die Beteiligung von drei Arbeitsgruppen sind die Anwendungsschwerpunkte vielfältig. Beispiele sind i. die Vergütung bzw. Optimierung von Oberflächen bzgl. ihrer mechanischen, tribologischen, biokompatiblen, reaktiven, optischen und elektrischen Eigenschaften, ii. die Erzeugung und Verbesserung von optisch aktiven Metalloxidfilmen durch reaktives Sputtern, iii. die Erzeugung von supraleitenden/ ferromagnetischen Schichtstrukturen zur Untersuchung des Fulde-Ferrell-Larkin-Ovchinnikov Zustandes, iv. die Herstellung metallischer und oxidischer Nano-Dot-Arrays zum Erreichen neuer Anwendungen sowie zur Untersuchung der Phasenbildung in kleinsten Teilchen, v. das Studium der Zelladhäsion und der Biofilmgeneration an biokompatiblen Beschichtungen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Universität Augsburg
• Leiter: Professor Dr. Bernd Stritzker