Mechanical Design of NPM-Maschines (B02)

• Subject Area: Automation, Mechatronics, Control Systems, Intelligent Technical Systems, Robotics
• Term: from 2002 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

Schwerpunktaufgaben des Teilprojektes B2 „Nanokonstruktion“ in der kommenden Förderperiode sind die Erarbeitung wissenschaftlicher Grundlagen für die Konstruktion von NPMM, die systematische Entwicklung von Gesamtaufbau, Komponenten und Schnittstellen unter Nutzung eines rechnergestützten Entwurfssystems, die Verifikation mit Methoden und Werkzeugen des Virtual Prototyping sowie experimentelle Untersuchungen. Dazu gehören auch die Behandlung unvermeidbarer Nominalgeometrieabweichungen (mit B6), die Eliminierung äußerer Einflüsse durch geeignete Schutzeinrichtungen sowie die Verstetigung der Erkenntnisse in Form einer Konstruktionsdatenbank.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Major Instrumentation: Großraum-Vakuumkammer mit Zubehör
• Instrumentation Group: 8300 Labor-Vakuumeinrichtung
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Project Heads: Professor Dr.-Ing. René Theska; Professor Dr.-Ing. Christian Weber