Synthese von nichtoxidkeramischen Schichten aus kondensierten Precursoren mittels DC- und HF-Plasma

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Johannes Wilden
• Fachliche Zuordnung: Werkstofftechnik
• Förderung: Förderung von 1997 bis 2001
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5390893

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1037: Neue Precursorkeramik aus kondensierten molekularen Vorstufen
• Beteiligte Personen: Dr.-Ing. Rudolf Henne; Professor Dr. Eberhard Müller; Professor Dr. Gerhard Roewer (†); Günter Schiller, Ph.D.