Synergismen bei der Schichtabscheidung mit gepulsten reaktiven Plasmen (B 05)

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung von 2003 bis 2006
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485380

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 591: Universelles Verhalten gleichgewichtsferner Plasmen: Heizung, Transport und Strukturbildung
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiter: Privatdozent Dr. Johannes Berndt; Professor Dr. Jörg Winter