Untersuchung von dielektrisch behinderten Oberflächenentladungen für den Einsatz als Remote-Plasmaquellen bei Atmosphärendruck

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Jürgen Engemann
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2004 bis 2007
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5426019

Im Rahmen des Projektes sollen die Mechanismen der Generierung, des Transportes und der Verluste von energieübertragenden Spezies insbesondere von metastabilen Neutralen bei unterschiedlichen Konzepten dielektrisch behinderter Atmosphärendruck-Oberflächenentladungen systematisch untersucht werden. Besonderes Augenmerk liegt dabei auf deren Beitrag zu Atmosphärendruck"Remote"-Prozessen, die ein erhebliches technologisches Potential besitzen. Zunächst steht die Klärung des Einflusses von Elektrodengeometrie und der verwendeten Materialien im Vordergrund. In einem weiteren Schritt sind die prozessbestimmenden Quellenparameter zu untersuchen. Dazu zählt neben der Bereitstellung und Kontrolle der eingekoppelten elektrischen Leistung insbesondere die Gasmischung und die Gasströmung. Diese wiederum beeinflussen die Lebensdauer der Teilentladungen und damit letztlich die räumliche und zeitliche Ausbildung des angestrebten Atmosphärendruck-"Remote"-Plasmas. Die Charakterisierung der Entladungen erfolgt mit einer ICCD-Kamera, elektrooptischen Sonden und zeitaufgelösten Messungen der Spannungen und Ströme auf den Anregungselektroden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen