Vergleichbare Messergebenisse bei der Messung nicht-geometrischer Größen (Hydrophilie von mikroskopischen Bereichen) in der Mikrotechnik durch Bereitstellung von validierten Verfahren und Referenzproben

• Applicant: Professor Dr. Martin Schmidt
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2004 to 2007
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5436574

No abstract available

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1159: New Strategies for Measurement and Test Techniques for Production of Microsystems and Nanostructures