Grundlagenuntersuchungen zur modellgestützten Messunsicherheitsanalyse für die Rauheitsbestimmung mittels Interferenzmikroskopie

• Applicant: Dr.-Ing. Rolf Krüger-Sehm
• Subject Area: Microsystems
• Term: from 2004 to 2008
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5436608

No abstract available

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1159: New Strategies for Measurement and Test Techniques for Production of Microsystems and Nanostructures