Dynamics and reactivity of electronegative plasmas (B05)

• Subject Area: Optics, Quantum Optics and Physics of Atoms, Molecules and Plasmas ; Experimental Condensed Matter Physics
• Term: from 2005 to 2017
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5486308

Die Forschungsaktivitäten im Teilprojekt konzentrieren sich auf umfassende Untersuchungen sauerstoff-und fluorkohlenstoffhaltiger Hochfrequenzplasmen in der Wechselwirkung mit Oberflächen.Insbesondere soll das raum-zeitliche Verhalten negativer Ionen (z.B. O-, O2-) mittels LaserinduziertemPhotodetachment und Mikrowelleninterferometrie studiert werden. Kenntnisse über dasVerhalten negativer Ionen sind zur Aufklärung wesentlicher Elementarprozesse in elektronegativenPlasmen von grundsätzlicher Bedeutung. In Fluorkohlenstoffplasmen sollen darüber hinaus mittelszeitaufgelöster IR-Diodenlaserabsorptionsspektroskopie relevante transiente Spezies wie z.B. CF, CF2und CF3 analysiert und deren spezifische Rolle bei der Synthese kondensierter Strukturen im Plasmaund an Oberflächen aufgeklärt werden.

• DFG Programme: CRC/Transregios
• Subproject of: TRR 24: Fundamentals of Complex Plasmas
• Applicant Institution: Universität Greifswald
• Project Heads: Professor Dr. Jürgen Meichsner; Professor Dr. Ralf Schneider, until 6/2013