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Surface Layers in Reactive Plasmas (B07)

Subject Area Experimental Condensed Matter Physics
Term from 2005 to 2009
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5486308
 
Im Teilprojekt werden durch Plasmaverfahren hergestellte und an Oberflächen deponierte metallischeCluster untersucht, um Volumen, Oberflächenbelegung und vor allem auch Cluster-Deformation (Abflachung)als Funktion der Herstellungsbedingungen zu bestimmen. Kraftmikroskopie und Röntgenmethodensollen eingesetzt und entsprechend weiterentwickelt werden. Strukturelle Veränderungender Oberflächenschicht und auch chemische Reaktionen (Oxydation) werden tiefenaufgelöst durch Insitu-Diffraktions- und Reflektionsmessungen während der Plasmabeschichtung untersucht. Die Veränderungender Oberflächenschicht werden mit zeitaufgelöster Plasmadiagnostik vor der Wand korreliert.
DFG Programme CRC/Transregios
Applicant Institution Universität Greifswald
 
 

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