Aufdampfanlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2024
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 550633873

Mit dem Antrag soll eine Aufdampfanlage für das Walter Schottky Institut der TU München beschafft werden. Die projektübergreifende Anforderung an die Anlage ist, Elektroden, wie ohmsche Kontakte und elektrostatische Gatter, für niederdimensionale Kristalle und Elektronensysteme herstellen zu können. Bei der Herstellung der Schichten sollen verschiedene Metalle miteinander kombinierbar sein. Insbesondere sollen die Aufdampfprozesse mit modernen Lithographie-Verfahren kompatibel sein, sodass nanoskalige Elektroden hergestellt werden können.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Aufdampfanlage
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Technische Universität München (TUM)
• Leiter: Professor Dr. Alexander Walter Holleitner