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UHV-Sputteranlage mit temperaturvariablem UHV/in-situ H-Rastertunnelmikroskop

Fachliche Zuordnung Materialwissenschaft
Förderung Förderung seit 2024
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 554851635
 
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren Forschungsgroßgeräte
Großgeräte UHV-Sputteranlage mit temperaturvariablem UHV/in-situ H-Rastertunnelmikroskop
Gerätegruppe 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
Antragstellende Institution Karlsruher Institut für Technologie
 
 

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