Reactive Magnetron Sputter System (RMS)

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2026
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 568739894

Im Reactive Magnetron Sputter System (RMS) werden dünne Schichten aus supraleitenden Materialien sowie Oxide und Nitride durch reaktives Magnetronsputtern abgeschieden. Durch die präzise Steuerung der Prozessparameter lassen sich die Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten maßgeschneidert einstellen. Die Verwendung getrennter Kammern für die Abscheidung von Supraleitern und Oxiden/Nitriden verhindert eine Kreuzkontamination. Typische Anwendungen sind die Abscheidung supraleitender Schichten, z. B. für supraleitende Elektronik, Ein-Photonen-Detektoren und supraleitende Qubits, die Abscheidung von Oxidschichten, z. B. für die In-situ-Passivierung supraleitender Schichten, die Herstellung von Heterostrukturen für photonische Bauelemente, die Abscheidung von Schichten für photonische integrierte Schaltungen oder die Abscheidung von Hartmasken für nachfolgende Ätzprozesse. Eingebettet ist das Gerät in das Zentrale Elektronik- und Informationstechnologielabor (ZEITlab) der Technischen Universität München (TUM). Das ZEITlab ist eine Organisationseinheit der School of Computation, Information and Technology (SoCIT). Seit dem Jahr 2022 ist es im neuen Gebäude der Elektro- und Informationstechnik der TUM auf dem Campus Garching untergebracht. Das Zentrum besteht aus einem Reinraum mit einer Fläche von 950 m² und zugehörigen Charakterisierungslaboren. Seine Vision ist die Etablierung eines "Makerspace für Mikroelektronik-Prototypen“, der als breit aufgestelltes Technologiezentrum der SoCIT eine Vielzahl von Forschungsbereichen unterstützt. Im ZEITlab werden Proof-of-Concept-Demonstratoren im Bereich Elektronik und Sensorik auf der Basis moderner Materialien und Komponenten realisiert und für verschiedene Anwendungsfelder bereitgestellt. Diese Art des „Rapid Prototyping“ nutzt innovative Verarbeitungs- und Charakterisierungstechnologien und wird systematisch durch Schaltungsdesign und Modellierung ergänzt. Das ZEITlab stellt einer Vielzahl von Forschungsgruppen, die sich mit Themen wie Quanten- und Sensortechnologien, Mikro-, Opto- und Neuroelektronik sowie hybriden Nanosystemen beschäftigen, einen zentralen und gemeinsamen Zugang zur Mikro- und Nanofabrikation zur Verfügung. Die gebündelte Infrastruktur ermöglicht demzufolge einen effizienten Transfer von Technologien aus der Grundlagenforschung zu ingenieurtechnischen Fragestellungen und Anwendungen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Reactive Magnetron Sputter System
• Antragstellende Institution: Technische Universität München (TUM)
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Markus Becherer