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Projekt
Induktiv gekoppelte plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung
Fachliche Zuordnung
Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
Förderung
Förderung seit 2026
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 574723012
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Großgeräte
Induktiv gekoppelte plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung
Gerätegruppe
0920 Atom- und Molekularstrahl-Apparaturen
Antragstellende Institution
Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg
