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Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy - Erneuerung
Fachliche Zuordnung
Elektrotechnik und Informationstechnik
Förderung
Förderung seit 2026
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 584479961
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Großgeräte
Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy - Upgrade
Gerätegruppe
0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
Antragstellende Institution
Technische Universität Braunschweig
Leiter
Professor Dr. Andreas Waag
