Waferprober mit Lasercutter und Zusatzgeräten

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2009
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 86381637

Das hier beantragte System deckt eine Schnittmenge von zentralen Anwendungen in den Arbeitsbereichen IC-Design, Mikromechanik und HF-Anwendungen in der KFZ-Elektronik ab.IC-Design: Charakterisierung von Bauelementen und Inbetriebnahme von Teilsystemen. Hauptsächlich verwendet: Grundgerät, Lasercutter, Std-Probes, HF-ProbesMikromechanik: Kontaktierung und Bearbeitung von mikromechanischen Sensoren.Hauptsächlich verwendet: Grundgerät, Lasercutter, Std-ProbesKFZ-Elektronik: Chip- und SMD-Board-bezogene Anwendungen im HF-Bereich. Hauptsächlich verwendet: Grundgerät, Std-Probes, HF-ProbesDas System stellt einen allgemeinen Zugang zu elektronisch / mechanisch / optischen Mikrosystemendar, der in der FH Köln bislang nirgendwo verfügbar ist.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 2780 Spezielle Meß- und Prüfgeräte für Halbleiter und Röhren (außer 620-659)
• Antragstellende Institution: Technische Hochschule Köln
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Andreas Kampmann