Labor-CVD-Anlage

• Subject Area: Materials Engineering
• Term: Funded in 2008
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 86525758

Am Zentralinstitut für neue Materialien und Prozesstechnik wird in Verbindung mit dem Lehrstuhl Werkstoffkunde und Technologie der Metalle (WTM) seit vielen Jahren an der Diamantbeschichtung von unterschiedlichen Materialien geforscht. Die flächige haftfeste Abscheidung dieser Schichten weist bei einigen Materialien, unter anderem Stahl und Kobalt, große Probleme auf. Die katalytische Wirkung dieser Werkstoffe verhindert Beschichtung mit Diamant. Die Lösung dieses Problems wurde in den letzten Jahren in unterschiedlichen Zwischenschichten gefunden. Am erfolgversprechendsten scheinen dabei Zwischenschichten aus Titanbornitrid, die mittels CVD –Verfahren (Chemical Vapour Deposition) abgeschieden werden. Bisherige Versuche wurden provisorisch in einer kleinen Versuchsanlage am Lehrstuhl für chemische Reaktionstechnik (CRT) der Universität Erlangen Nürnberg durchgeführt. Um diese grundlegenden Forschungsarbeiten fortzusetzen wird eine speziell auf die benötigten Schichten abgestimmte CVD-Anlage benötigt, die Ziel des vorliegenden Antrags ist. Mit dieser neuen Anlage sollen insbesondere die Abscheidung der benötigten Schichten auf unterschiedliche Stahlsorten und unterschiedliche Demonstrationsteilen (Werkzeuge, Messer, Wellen, Gehäuse, usw.) erforscht werden.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 0920 Atom- und Molekularstrahl-Apparaturen
• Applicant Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Leader: Professor Dr.-Ing. Stefan Rosiwal