FIB/REM-System (Focussed Ion Beam kombiniert mit Rasterelektronenmikroskop)

• Fachliche Zuordnung: Mechanik und Konstruktiver Maschinenbau ; Werkstofftechnik
• Förderung: Förderung in 2009
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 121448065

„Bisher gibt es an der Universität Siegen kein vergleichbares System. Die überaus vielfältigen Einsatzmöglichkeiten des beantragten Gerätes spiegeln sich anhand des breit aufgestellten Nutzerkreises wider, der sich von Werkstoff- und Nanotechnologie über physikalische Chemie und Festkörperphysik bis hin zur Höchstfrequenztechnik und Quantenelektronik erstreckt. Alle Fachgebiete könnten erheblich von der Beschaffung einer FIB-Anlage profitieren, wodurch die Forschung in diesen Bereichen bedeutend gestärkt und konkurrenzfähig bleiben würde. Im einzelnen liegen die Anwendungsschwerpunkte für die Werkstofftechnik bei der 3D-Analytik (EBSD und EDX) metallischer Proben oder Schichtsysteme, der zielgerichteten Entnahme von TEM-Proben, des Micromachining von Spitzen (Nanoindenter, AFM) sowie der elektronischen Kontaktierung von Nanostrukturen. In den Bereichen Höchstfrequenztechnik und Festkörperphysik würden vorwiegend die Strukturierungs- und Micromachiningmöglichkeiten des FIB-Systems zur Nanostrukturierung von Kompositen, zum Erzeugen von 3D-Nahfeldsonden sowie zum gezielten Dotieren von Halbleiterstrukturen genutzt werden. Das Fachgebiet Bau- und Werkstoffchemie würde vor allem von den analytischen Möglichkeiten einer FIB-Anlage Gebrauch machen, um komplexe Untersuchungen von Strukturen, Gefügen und Prozessen moderner Bauwerkstoffe (Hochleistungsbeton) zu realisieren.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Universität Siegen
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Hans Jürgen Christ