Ofensystem zur Oxidation und Ausheilung von Halbleiterbauelementen

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2017
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 324920367

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) betreibt zusammen mit dem Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) seit 30 Jahren Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie. Im Reinraumlabor der Friedrich-Alexander-Universität (FAU) steht dafür eine umfangreiche Prozess- und Analytiktechnik zur Verfügung, die die gesamte Herstellungskette von der Halbleiterscheibe bis zur integrierten Schaltung umfasst. Das beantragte Ofensystem soll ein vorhandenes Ofensystem aus dem Jahr 1986 ersetzen und die Prozessmöglichkeiten wesentlich erweitern, bzw. den zusätzlichen Anforderungen der "More than Moore"-Technologien gerecht werden. Bei dem vorhandenem Ofensystem stellt vor allem die mangelnde Zuverlässigkeit sowie das Beschaffen von Ersatzteilen bzw. die Reparatur von defekten Komponenten ein großes Problem dar, da der Hersteller das vorhandene System seit längerem nicht mehr unterstützt. Das neue Ofensystem soll zudem die Prozessierungsmöglichkeiten des LEB in Bezug auf seine neue Forschungsschwerpunkte, vor allem Bauelemente auf Basis von Siliciumcarbid und anorganische Dünnfilmelektronik, erweitern. State-of-the-Art-Halbleiterfertigungsgeräte wie das neue Ofensystem sind auch wichtig bei der Ausbildung des akademischen Nachwuchses.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Ofensystem zur Oxidation und Ausheilung von Halbleiterbauelementen
• Gerätegruppe: 8400 Kammeröfen, Muffelöfen, Rohröfen
• Antragstellende Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Leiter: Professor Dr. Lothar Frey (†); Professor Dr.-Ing. Martin März, seit 7/2018