Ionenstrahlmodifizierung von polymeren Funktionsschichten zur gezielten Einstellung von Sensorfunktionen

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Gerald Gerlach
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5158996

Der Antrag betrifft die Nutzung polymerer Funktionsschichten für mikrotechnische Sensoren, vorzugsweise auf Halbleiterbasis. Ziel des Forschungsprojektes ist es, durch die Modifikation dieser Polymerschichten geänderte, langzeitstabile Eigenschaften zu erreichen und damit die Genauigkeit und Stabilität entsprechender Festkörpersensoren zu erhöhen. Es soll untersucht werden, inwieweit durch Ionenstrahlmodifizierung die passivierenden, die dielektrischen und die mechanischen Eigenschaften sowie die mechanische und chemische Widerstandsfähigkeit beeinflußt werden. Die Untersuchungen konzentrieren sich auf die in Voruntersuchungen als aussichtsreich ermittelten aromatischen, polaren Polymere mit Imid-, Ether- und Sulfongruppen. An einem Demonstrator soll beispielhaft die Wirkung von solchen polymeren Funktionsschichten mit entsprechend optimal veränderter Oberfläche oder Volumen dieser Schichten auf die Genauigkeit und Langzeiteigenschaften untersucht werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen