Optische Nanostrukturierung mit neuartigen Polymeren

• Antragstellerin: Professorin Dr. Brigitte Voit, Ph.D.
• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5465311

Gesamtziel des Projektes ist die Entwicklung von Nanostrukturierungsverfahren, die es erlauben, auf verschiedenen Substraten eine weite Variation von funktionellen Elementen oder Metallstrukturen gezielt aufzubringen. Dabei soll durch elektrische und optische Rastermethoden eine direkte Strukturbildung ohne chemische Entwicklung erfolgen. Die erzeugten Strukturen sollen dann funktionale Elemente zur Anlagerung von Substanzen sein, wie in Teilprojekt B2 benötigt, oder Elemente eines Mikroreaktors sein, wie er im Teilprojekt B3 realisiert werden soll.Ziel der hier diskutierten Arbeiten in den ersten 2 Jahren Projektlaufzeit ist die Synthese und optische Strukturierung neuartiger funktionaler Schichten für Resiste, die eine direkte Strukturbildung ohne Entwicklung erlauben sowie nach der Strukturierung funktionale Gruppen lateral definiert an Oberflächen für eine weitere Anbindungs- oder Modifizierungsreaktion zur Verfügung stellen. Als Substanzen sollen zuerst niedermolekulare, geschützte Aminverbindungen bzw. photo- und thermolabile Diazosulfonatpolymere eingesetzt werden. Die Strukturierung soll direkt mittels optischer Nahfeldmikroskopie (SNOM), Laser Scanning Mikroskopie (LSM) und Rastertunnelmikroskopie (STM) erfolgen, so daß man weder an die Verwendung von Masken noch an eine von außen vorgegebene Struktur gebunden ist. Im hier beantragten Projektzeitraum wird angestrebt, eine laterale Auflösung der funktionalen, strukturierten Schichten im Bereich von 100 nm zu erreichen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgruppen
• Teilprojekt zu: FOR 335: Nanostrukturierte Funktionselemente in makroskopischen Systemen
• Beteiligte Person: Professor Dr. Karl Leo