Messgerät zur 3D-Bewegungsanalyse von Mikrostrukturen
Final Report Abstract
Die Anlage besteht aus einer Vakuumwaferprober und einem Messmikroskop mit Topographie- und Funktionsmesstechnik für mikroelektromechanische Systeme (MEMS). Nach der Inbetriebnahme wurde die Anlage hinsichtlich der Druckregelung noch durch einen Schieber und ein Bypassventil erweitert, um die manuelle Druckregelung leichter nutzbar zu machen. Die Anlage wird für die Charakterisierung von Mikrosystemen auf Wafer-Level verwendet und findet daher Anwendung für die Modellverifikation in den Bereichen Modalanalyse und Dämpfungsberechnung. Weiterhin werden Forschungsarbeiten für MEMS-Sensoren auf Basis von Kohlenstoffnanoröhrchen mit Hilfe dieser Anlage bearbeitet, da der Betrieb von Kohlenstoffnanoröhrchen als Sensorelemente eine Vakuumumgebung erfordert.
Publications
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Hermann,S.; Fiedler,H.; Loschek,S.; Schulz,S.E.; Gessner,T.
- Wafer-level technology for piezoresistive electro-mechanical transducer based on Carbon Nanotubes. Herrenhausen Conference „ Downscaling Science" , Hanover (Germany), 2012 Dec 12-14
Hermann,S.; BonitzJ.; Kaufmann,C.; Schulz,S.E.; Gessner,T.; Shaporin,A.; Voigt,S.; Mehner,J.; Hartmann,S.; Wunderle,B.
