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Project Details

Institution

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Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Abteilung Bauelemente

Address Schottkystraße 10
91058 Erlangen
Deutschland

GERiT This institution in GERiT

91058 Erlangen

Projects

Research Grants
- Completed projects
  - Atomic layer deposition of dopant source layers for semiconductor doping - Characterization and modelling of drive-in processes
    (Applicants Kalkofen, Bodo ; Pichler, Peter )
  - Experimentelle Bestimmung der thermodynamischen und kinetischen Eigenschaften von Gitterleerstellen in Silicium
    (Applicant Ryssel, Heiner )
Collaborative Research Centres
- Completed projects
  - Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente
    (Project Heads März, Martin ; Ryssel, Heiner )
  - Röntgenprüfverfahren für 3D-Mikrostrukturen
    (Project Heads Hanke, Randolf ; Seitzer, Dieter )
  - SFB 356: Production Systems in Electronics
    (Spokesperson Feldmann, Klaus )
Major Research Instrumentation
- Completed projects
  - Ofensystem zur Oxidation und Ausheilung von Halbleiterbauelementen
Graduate Schools
- Completed projects
  - GSC 80: Erlangen Graduate School in Advanced Optical Technologies (SOAT)
    (Spokesperson Schmidt, Michael )

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