Röntgenprüfverfahren für 3D-Mikrostrukturen (C 2)

• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 1992 bis 2004
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5478566

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 356: Produktionssysteme in der Elektronik
• Antragstellende Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Mitantragstellende Institution: Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) ; Abteilung Bauelemente
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Randolf Hanke; Professor Dr.-Ing. Dieter Seitzer