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Institution

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Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Abteilung Bauelemente

Adresse Schottkystraße 10
91058 Erlangen
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

91058 Erlangen

Projekte

Sachbeihilfen
- abgeschlossene Projekte
  - Atomlagenabscheidung von Dotierstoffquellen für die Dotierung von Halbleiterstrukturen - Charakterisierung und Modellierung der Drive-In Prozesse
    (Antragsteller Kalkofen, Bodo ; Pichler, Peter )
  - Experimentelle Bestimmung der thermodynamischen und kinetischen Eigenschaften von Gitterleerstellen in Silicium
    (Antragsteller Ryssel, Heiner )
Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente
    (Teilprojektleiter März, Martin ; Ryssel, Heiner )
  - Röntgenprüfverfahren für 3D-Mikrostrukturen
    (Teilprojektleiter Hanke, Randolf ; Seitzer, Dieter )
  - SFB 356: Produktionssysteme in der Elektronik
    (Sprecher Feldmann, Klaus )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
  - Ofensystem zur Oxidation und Ausheilung von Halbleiterbauelementen
Graduiertenschulen
- abgeschlossene Projekte
  - GSC 80: Erlangen Graduiertenschule für Fortschrittliche Optische Technologien
    (Sprecher Schmidt, Michael )

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