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Institution
Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Address
09107 Chemnitz
Deutschland
GERiT
This institution in GERiT
09107 Chemnitz
Projects
Research Grants
Completed projects
Entwicklung von Röntgenoptiken aus Elementen der Siliziummikrotechnik
(Applicants
Frühauf, Joachim
;
Michel, Bernd
)
Herstellung von "Silicon-On-Insulator"-Schichten durch Ionenimplantation bei geringen Dosen in Kombination mit anschließenden Plasmabehandlungen
(Applicant
Horstmann, John Thomas
)
Preparation of "Silicon-On-Insulator" layers by low dose ion implantation and subsequent plasma exposure
(Applicants
Horstmann, John Thomas
;
Job, Reinhart
)
Reshaping of silicon microstructures by laser
(Applicant
Frühauf, Joachim
)
Schaltungselemente mit Nanometer-Geometrien in allen Raumrichtungen
(Applicant
Horstmann, John Thomas
)
Priority Programmes
Completed projects
Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen
(Applicant
Frühauf, Joachim
)
Major Research Instrumentation
Completed projects
Halbautomatischer Waferprober mit DC- und HF-Messsystem
Research Units
Completed projects
MOS detection for nano resonators
(Applicant
Horstmann, John Thomas
)
Major Instrumentation Initiatives
Completed projects
Measurement-Platform for Ultra-High Data-Rates (MORE)
Additional Information
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