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Institution

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Technische Universität Berlin
Institut für Hochfrequenz- und Halbleiter-Systemtechnologien
Fachgebiet Nano Interconnect Technologies

Adresse Gustav-Meyer-Allee 25
13355 Berlin
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

13355 Berlin

Projekte

Sachbeihilfen
- abgeschlossene Projekte
  - Elektrische Modellbildung, Charakterisierung und Entwurf von Silizium Durchkontaktierungen für Anwendungen in integrierten Systemen
    (Antragsteller Lang, Klaus-Dieter ; Schuster, Christian )
  - Multifunktionale Integration miniaturisierter Satellitenkomponenten zur Erhöhung der Nutzlastkapazität für Kleinsatelliten
    (Antragsteller Brieß, Klaus ; Lang, Klaus-Dieter )
Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Entwicklung mikrosystemtechnischer Werkzeugmaschinenstrukturen für gewichts- und genauigkeitsoptimierte Gestelle "LEG2O-Gestell"
    (Teilprojektleiter Lang, Klaus-Dieter ; Uhlmann, Eckart )

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