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Institution

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Bergische Universität Wuppertal
Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik und Medientechnik
Lehrstuhl für Mikrostrukturtechnik (aufgelöst)

Adresse Rainer-Gruenter-Straße 21
42119 Wuppertal
Deutschland

42119 Wuppertal

Projekte

Sachbeihilfen
- abgeschlossene Projekte
  - Großflächige Plasmaquellen mit Multijet-Hohlkathoden-Hochfrequenz-Entladung: Untersuchung, Modellierung und Simulation
    (Antragsteller Engemann, Jürgen )
  - Ortsaufgelöste Stromdichte-/Energieverteilungsanalyse in einem reaktiven Niederenergie-Ionenstrahl großen Querschnittes
    (Antragsteller Engemann, Jürgen )
Sonderforschungsbereiche
- abgeschlossene Projekte
  - Randschichtdynamik in gepulsten Plasmen: Orts- und zeitaufgelöste Messungen und Modellbildungen
    (Teilprojektleiter Brockhaus, Albrecht ; Engemann, Jürgen ; Riemann, Karl-Ulrich )

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