Detailseite
Projekt Druckansicht

Großflächige Plasmaquellen mit Multijet-Hohlkathoden-Hochfrequenz-Entladung: Untersuchung, Modellierung und Simulation

Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung Förderung von 1998 bis 2003
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5123426
 
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren Sachbeihilfen
 
 

Zusatzinformationen

Textvergrößerung und Kontrastanpassung