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Institution
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Department Elektrotechnik-Elektronik-Informationstechnik
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Adresse
Cauerstraße 6
91058 Erlangen
Deutschland
GERiT
Diese Institution in GERiT
91058 Erlangen
Projekte
Sachbeihilfen
laufende Projekte
Quantenbildgebung von lebendem Gewebe mit magnetischen Nanopartikeln - Ein neuer interdisziplinärer Ansatz
(Antragstellerinnen / Antragsteller
Nagy, Roland
;
Schneider-Stock, Regine
;
Tietze, Rainer
)
Siliziumkarbid-Qubits hin zu einer fabrikreifen Technologie
(Antragstellerin
Förthner, Julietta Miriam
)
abgeschlossene Projekte
Atomlagenabscheidung von Dotierstoffquellen für die Dotierung von Halbleiterstrukturen - Charakterisierung und Modellierung der Drive-In Prozesse
(Antragsteller
Kalkofen, Bodo
;
Pichler, Peter
)
Aufbau einer mit Reaktivgas gefüllten, hochgenauen Atomresonanzzelle mittels Ionenimplantation
(Antragsteller
Ryssel, Heiner
;
Seidel, Helmut
)
Bragg-Gitter auf der Basis von Hybridpolymeren für die analytische Sensorik
(Antragsteller
Frey, Lothar
;
Hellmann, Ralf
)
Charakterisierung von strukturierten Materialien der Halbleitertechnologie mittels aperturloser Streulicht-Rasternahfeldmikroskopie
(Antragsteller
Kazantsev, Dmitry
)
Distribution, Segregation and Dose-loss of Dopants in Deca-nanometer SOI Structures
(Antragsteller
Ryssel, Heiner
)
Experimentelle Bestimmung der thermodynamischen und kinetischen Eigenschaften von Gitterleerstellen in Silicium
(Antragsteller
Ryssel, Heiner
)
Experimentelle Demonstration eines bipolaren Hochspannungsschalters mit beidseitig gesteuerten Emitterstrukturen
(Antragsteller
Stoisiek, Michael
)
Flüssigphasenprozessierung von Silicium-Dünnfilmen und elektronischen Bauelementen basierend auf Polysilan-Präkursoren
(Antragsteller
Frey, Lothar
;
Kroke, Edwin
)
Ladungskompensation in 4H-Siliciumkarbid - Simulation, Modellbildung und experimentelle Verifizierung
(Antragsteller
Erlbacher, Tobias
)
Räumliche Winkelverteilung von gesputterten und rückgestreuten Atomen bei der Ionenbestrahlung unter streifenden Winkeln
(Antragsteller
Ryssel, Heiner
)
Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gate-Elektroden für MOS-Transistoren
(Antragsteller
Eisele, Ignaz
)
Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gate-Elektroden für MOS-Transistoren
(Antragsteller
Ryssel, Heiner
)
Schwerpunktprogramme
abgeschlossene Projekte
CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation
(Antragsteller
Ryssel, Heiner
)
CVD-Prozesse mit neuartigen metallorganischen Precursoren zur Herstellung von hoch-Epsilon Gatedielektrika und metallischen Gatelektroden zukünftiger CMOS-Generation
(Antragsteller
Herrmann, Wolfgang A.
)
Experimentelle Demonstration eines bipolaren Hochspannungsschalters mit beidseitig gesteuerten Emitterstrukturen
(Antragsteller
Stoisiek, Michael
)
Modellierung und Simulation der Diffusion von Aluminium in Silicium
(Antragsteller
Ryssel, Heiner
)
Precursorchemie von HfN, TaN, WNx und ähnlichen Metallnitriden in MOCVD und ALD-Prozessen für Gate-Metallisierungs- und Diffusions-Grenzschichten für CMOS-Bauteile
(Antragsteller
Fischer, Roland A.
)
Forschungsgruppen
abgeschlossene Projekte
Kristallzüchtung von Nitrid-Einkristallen mit hoher Reinheit nach dem Ammonothermalverfahren
(Antragstellerin
Meissner, Elke
)
Untersuchung von p-dotierten Schichten zur Bauelementeisolation
(Antragsteller
Frey, Lothar
)
Emmy Noether-Nachwuchsgruppen
laufende Projekte
Neue Nitridmaterialien für elektronische Bauelemente
(Antragstellerin
Schimmel, Saskia
)
Sonderforschungsbereiche
abgeschlossene Projekte
Integrierbare Bauelemente zur Erhöhung der Betriebssicherheit elektronischer Systemkomponenten im Automobil
(Teilprojektleiter
Frey, Lothar
;
Ryssel, Heiner
)
Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente
(Teilprojektleiter
März, Martin
;
Ryssel, Heiner
)
Forschungsgroßgeräte
abgeschlossene Projekte
Halbautomatischer 200 mm-Messplatz zur Charakterisierung von Bauelementen und Halbleiterscheiben
Messplatz zur Quantensensorik mit Farbzentren im Festkörper
Ofensystem zur Oxidation und Ausheilung von Halbleiterbauelementen
Graduiertenkollegs
abgeschlossene Projekte
GRK 1161: Disperse Systeme für Elektronikanwendungen
(Sprecher
Peukert, Wolfgang
)
GRK 1896: In-situ-Mikroskopie mit Elektronen, Röntgenstrahlen und Rastersonden
(Sprecher
Spiecker, Erdmann
)
Graduiertenschulen
abgeschlossene Projekte
GSC 80: Erlangen Graduiertenschule für Fortschrittliche Optische Technologien
(Sprecher
Schmidt, Michael
)
Exzellenzcluster
abgeschlossene Projekte
EXC 315: Neue Materialien und Prozesse - Hierarchische Strukturbildung für funktionale Bauteile
(Sprecher
Peukert, Wolfgang
)
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