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Person

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Professor Dr.-Ing. Steffen Strehle

Adresse Technische Universität Ilmenau
Fakultät für Maschinenbau
Fachgebiet Mikromechanische Systeme
Max-Planck-Ring 12
98693 Ilmenau

Projekte

Als Antragsteller
- laufende Projekte
  - Nanoskalige Elektronenstrahl-induzierte Abscheidung aus der Gasphase mit Rastersonden für hochgradig lokalisierte 3D-Materialabscheidung (TEBID) (Sachbeihilfen)
- abgeschlossene Projekte
Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
  - Anlage zur 3D-Femtosekundenlaser-basierten Mikrobearbeitung (Forschungsgroßgeräte)
Als Sprecher
- laufende Projekte
  - GRK 2182: Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen (Graduiertenkollegs)

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