Modellierung und technologische Erweiterung des oberflächenkontrollierten Kontaktdrucks von Nanodrähten

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Steffen Strehle
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2017 bis 2023
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 392124230

Die effiziente mikrotechnologische Fertigung von nanodrahtbasierten elektronischen Systemen besitzt ein hohes Anwendungs- und Innovationspotential. Allerdings fehlen bislang effiziente Technologien, welche die Vorteile der bottom-up Synthese von Nanodrähten mit den Möglichkeiten moderner top-down Mikrofabrikation verknüpfen. Im Rahmen des Vorhabens soll das kürzlich in meiner Gruppe entwickelte Verfahren des oberflächenkontrollierten Kontaktdrucks von Nanodrähten weiter erforscht werden. Mit dieser Technologie können prinzipiell einzelne Nanodrähte (gezeigt für Silizium-Nanodrähte) mit Hilfe sog. Fänger auf einem Zielsubstrat planar mit bekannter x-y-Position und bekannter Winkelausrichtigung abgelegt werden. Dies gestattet anschließend den Einsatz paralleler und großflächiger Integrationstechnologien für eine effiziente Nanodrahtbauelementfertigung. Im Vorhaben soll erstmals ein Beschreibungsmodel für den Kontaktdruck erstellt werden, welches nicht nur die Erweiterung des Materialspektrums bzgl. Substratwahl, Fängergestaltung und Nanodrahtmaterial, sondern zukünftig auch höhere Selektivitäten und sequentielle Drucke unterstützen soll. Darüber hinaus sollen erstmals auch dynamische Parameter in den Druckprozess einfließen und auch quasi-in-situ Experimente mit Hilfe von nanodrahtdekorierten Rasterkraftmikroskopie-Sonden durchgeführt werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen