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Person

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Professor Dr. Frank Richter (†)

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Spannungsbeeinflussung in c-BN-Schichten durch Strukturmodifizierung des Interfacebereiches h-BN/c-BN mittels gezielter Beimengungen (Sachbeihilfen)
  - Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika (Sachbeihilfen)
Als beteiligter Wissenschaftler
- abgeschlossene Projekte
  - GRK 829: Akkumulation von einzelnen Molekülen zu Nanostrukturen (Graduiertenkollegs)
Als Teilprojektleiter
- abgeschlossene Projekte
  - Scannerkomponenten mit breitbandigen dielektrischen Reflexionsschichten (Sonderforschungsbereiche)
Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte
  - Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika (Sachbeihilfen)
  - Untersuchung der zeitlichen Entwicklung der Entladung bei der gepulsten Magnetronzerstäubung (Sachbeihilfen)

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