Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika

• Antragsteller: Professor Dr. Frank Richter (†)
• Fachliche Zuordnung: Mechanische Eigenschaften von metallischen Werkstoffen und ihre mikrostrukturellen Ursachen
• Förderung: Förderung von 2004 bis 2006
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5433757

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen