Bestimmung und Optimierung des mechanischen Verhaltens von Schichtstapeln mit porösen low-k-Dielektrika

• Applicant: Professor Dr. Frank Richter (†)
• Subject Area: Mechanical Properties of Metallic Materials and their Microstructural Origins
• Term: from 2004 to 2006
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5433757

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• DFG Programme: Research Grants