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Person
Professor Dr. Peter Loosen
Adresse
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Fakultät für Maschinenwesen
Lehrstuhl für Technologie optischer Systeme
Steinbachstraße 15
52074 Aachen
- Als Antragsteller
- Als beteiligter Wissenschaftler
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Als Ehemaliger Antragsteller
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abgeschlossene Projekte
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Spektroskopische EUV-Metrologie für nanoskalige Gitter (Sachbeihilfen) bis 7/2021
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Skalierungsgrenzen einer kompakten EUV-Nanostrukturierungsanlage hinsichtlich Auflösung und Durchsatz - Erkenntnistransfer-Projekt (Sachbeihilfen) (2/2020 - 7/2021)
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abgeschlossene Projekte
- Als Mitverantwortlich
