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Professor Dr.-Ing. John Thomas Horstmann

Adresse Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
09107 Chemnitz

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Schaltungselemente mit Nanometer-Geometrien in allen Raumrichtungen (Sachbeihilfen)
  - Herstellung von "Silicon-On-Insulator"-Schichten durch Ionenimplantation bei geringen Dosen in Kombination mit anschließenden Plasmabehandlungen (Sachbeihilfen)
  - Herstellung von "Silicon-On-Insulator"-Schichten durch Ionenimplantation bei geringen Dosen in Kombination mit anschließenden Plasmabehandlungen (Sachbeihilfen)
  - MOS-Detektion für Nanoresonatoren (Forschungsgruppen)
Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
  - Halbautomatischer Waferprober mit DC- und HF-Messsystem (Forschungsgroßgeräte)
Als Kooperationspartner
- laufende Projekte
  - Mess-Plattform für ultra-hohe Datenraten (MORE) (Großgeräteinitiative)

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