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Person

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Professor Dr. Michael Siegel

Adresse Karlsruher Institut für Technologie
Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Hertzstraße 16
76187 Karlsruhe

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
Als beteiligter Wissenschaftler
- abgeschlossene Projekte
  - Schattenbedampfungsanlage mit Schleusenkammer (Forschungsgroßgeräte)
  - GSC 21: Karlsruher Graduiertenschule für Optik und Photonik (Graduiertenschulen)
  - GSC 1085: Karlsruher Schule für Elementarteilchen- und Astroteilchenphysik: Wissenschaft und Technologie (KSETA) (Graduiertenschulen)

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