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Professorin Dr.-Ing. Karla Hiller
Adresse
Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
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Als Antragstellerin
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abgeschlossene Projekte
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Zentralprojekt (Forschungsgruppen)
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abgeschlossene Projekte
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Als Leiterin
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abgeschlossene Projekte
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PVD-Abscheideanlage für Nanomaterialien (Forschungsgroßgeräte)
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abgeschlossene Projekte
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Als Teilprojektleiterin
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abgeschlossene Projekte
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Niedertemperaturbonden für rekonfigurierbare Resonatorarrays (Sonderforschungsbereiche)
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abgeschlossene Projekte