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Person
Professor Dr. Benjamin Butz
Adresse
Universität Siegen
Fakultät IV
Department Maschinenbau
Lehrstuhl für Mikro- und Nanoanalytik und -tomographie
Paul-Bonatz-Straße 9-11
57076 Siegen
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Als Antragsteller
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abgeschlossene Projekte
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Environmental TEM in der modernen Mikro- und Nanostrukturforschung (Forschungsstipendien)
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abgeschlossene Projekte
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Als Leiter
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laufende Projekte
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Siegener Gerätezentrum für Mikro- und Nanoanalytik MNaF (Gerätezentren)
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abgeschlossene Projekte
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Abbildendes Elektronenenergieverlustspektrometer (Forschungsgroßgeräte)
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Analytisches Transmissionselektronenmikroskop (Forschungsgroßgeräte)
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Reaktive RF/DC–Sputteranlage für transparente Elektroden, Isolatoren und Kontakte (Forschungsgroßgeräte)
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Reaktive Verdampferanlage für Oxide und Nitride (Forschungsgroßgeräte)
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Verdampferanlage mit Glovebox für Metalle und reaktive Materialien (Forschungsgroßgeräte)
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Zweistrahlrasterelektronenmikroskop mit Ga-Ionensäule (Ga-FIB/REM) (Forschungsgroßgeräte)
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Zweistrahlrasterelektronenmikroskop mit Multispezies-Plasma-Ionensäule (Plasma-FIB/REM) (Forschungsgroßgeräte)
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laufende Projekte
- Als beteiligter Wissenschaftler
- Als Teilprojektleiter
