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Laserlithografiegerät

Fachliche Zuordnung Zoologie
Förderung Förderung in 2009
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 113438568
 
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DFG-Verfahren Forschungsgroßgeräte
Gerätegruppe 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
 
 

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