Magnetron-Sputteranlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2009
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 133529569

• Erstellungsjahr: 2013

Zusammenfassung der Projektergebnisse

Die Magnetron-Sputteranlage wurde und wird zur Deposition der verschiedensten Funktionsschichten und im Rahmen von Funktionsschichtsystemen für die verschiedensten Projekte der im Nano Structuring Center arbeitenden Arbeitsgruppen des Fachbereiches Physik der TU Kaiserslautern verwendet. Exemplarisch seien hier Kontakt-Schichten aus Nickel- Germanium-Gold für Halbleiterlaser, magnetische Schichtsysteme, die Heusler-Legierungen enthalten, für Spintronik-Anwendungen, Chrom-Schichten als Hartmaskierung für Reaktives-Ionenätzen und Chrom-Gold-Schichten als Elektroden in Mikroresonatoren genannt.

Projektbezogene Publikationen (Auswahl)

• Dual electrode cantilevers for ohmic microscopy. Appl. Phys. Lett. 101, 251601 (2012)
  Markus Ignatowitz and Egbert Oesterschulze
  (Siehe online unter https://dx.doi.org/10.1063/1.4772483)
• Improving the quality factor of cantilevers in viscous fluids by the adaptation of their interface. Appl. Phys. Lett, 100, 113511 (2012)
  J. Linden and E. Oesterschulze
  (Siehe online unter https://dx.doi.org/10.1063/1.4772483)
• Nano-Optical Control of Hot-Spot Field Superenhancement on a Corrugated Silver Surface. IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 18(1) (2012)
  M. Aeschlimann, T. Brixner, S. Cunovic, A. Fischer, P. Melchior, W. Pfeiffer, M. Rohmer, C. Schneider, C. Strüber, P. Tuchscherer, D. V. Voronine
  (Siehe online unter https://dx.doi.org/10.1109/JSTQE.2011.2119470)
• Temperature Dependence of Laser-Induced Demagnetization in Ni: A Key for Identifying the Underlying Mechanism. Phys. Rev. X 2, 021006 (2012)
  T. Roth, A. J. Schellekens, S. Alebrand, O. Schmitt, D. Steil, B. Koopmans, M. Cinchetti, M. Aeschlimann
  (Siehe online unter https://dx.doi.org/10.1103/PhysRevX.2.021006)
• Ultrafast magnetization enhancement in metallic multilayers driven by superdiffusive spin current. Nature Communications 3, 1037 (2012)
  D. Rudolf, C. La-O-Vorakiat, M. Battiato, R. Adam, J. M. Shaw, E. Turgut, P. Maldonado, S. Mathias, P. Grychtol, H. T. Nembach, T. J. Silva, M. Aeschlimann, H. C. Kapteyn, M. M. Murnane, C. M. Schneider, P. M. Oppeneer
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1038/ncomms2029)