Magnetron-Sputteranlage

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2009
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 133529569

• Final Report Year: 2013

Final Report Abstract

Die Magnetron-Sputteranlage wurde und wird zur Deposition der verschiedensten Funktionsschichten und im Rahmen von Funktionsschichtsystemen für die verschiedensten Projekte der im Nano Structuring Center arbeitenden Arbeitsgruppen des Fachbereiches Physik der TU Kaiserslautern verwendet. Exemplarisch seien hier Kontakt-Schichten aus Nickel- Germanium-Gold für Halbleiterlaser, magnetische Schichtsysteme, die Heusler-Legierungen enthalten, für Spintronik-Anwendungen, Chrom-Schichten als Hartmaskierung für Reaktives-Ionenätzen und Chrom-Gold-Schichten als Elektroden in Mikroresonatoren genannt.

Publications

• Dual electrode cantilevers for ohmic microscopy. Appl. Phys. Lett. 101, 251601 (2012)
  Markus Ignatowitz and Egbert Oesterschulze
  
• Improving the quality factor of cantilevers in viscous fluids by the adaptation of their interface. Appl. Phys. Lett, 100, 113511 (2012)
  J. Linden and E. Oesterschulze
  
• Nano-Optical Control of Hot-Spot Field Superenhancement on a Corrugated Silver Surface. IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 18(1) (2012)
  M. Aeschlimann, T. Brixner, S. Cunovic, A. Fischer, P. Melchior, W. Pfeiffer, M. Rohmer, C. Schneider, C. Strüber, P. Tuchscherer, D. V. Voronine
  
• Temperature Dependence of Laser-Induced Demagnetization in Ni: A Key for Identifying the Underlying Mechanism. Phys. Rev. X 2, 021006 (2012)
  T. Roth, A. J. Schellekens, S. Alebrand, O. Schmitt, D. Steil, B. Koopmans, M. Cinchetti, M. Aeschlimann
  
• Ultrafast magnetization enhancement in metallic multilayers driven by superdiffusive spin current. Nature Communications 3, 1037 (2012)
  D. Rudolf, C. La-O-Vorakiat, M. Battiato, R. Adam, J. M. Shaw, E. Turgut, P. Maldonado, S. Mathias, P. Grychtol, H. T. Nembach, T. J. Silva, M. Aeschlimann, H. C. Kapteyn, M. M. Murnane, C. M. Schneider, P. M. Oppeneer